氦檢的核心功能是通過對微小泄漏的精準(zhǔn)捕捉和量化，精準(zhǔn)評估設(shè)備或系統(tǒng)的密封性能是否滿足設(shè)計(jì)要求。
真空箱氦檢，是真空箱式氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)，是一種高精度的密封性檢測方法。其核心原理是利用氦氣作為示蹤氣體，通過高靈敏度的氦質(zhì)譜檢漏儀在真空環(huán)境下檢測氦氣的濃度，從而判斷工件是否存在泄漏以及泄漏率的大小。
真空箱氦檢的工作原理：
將被檢件充滿氦氣，放置在的真空腔體內(nèi)，如有泄漏，氦氣會因壓力差泄漏到真空箱中，被檢漏儀實(shí)時(shí)檢測，從而判斷泄漏及泄漏率。此方法具有高靈敏度、高重復(fù)性、易于校準(zhǔn)、高產(chǎn)量等特點(diǎn)，便于集成到生產(chǎn)線。適用于電子元件、小型容器、管路接頭等中小型零部件的密封性檢測，尤其適合形狀復(fù)雜、不便直接外部噴氦的部件。
具體工作流程：
放置工件與抽真空：
操作者將待檢測的工件（如汽車零部件、電池殼體、液冷板等）放入真空箱內(nèi)，并將工件的接口與真空箱內(nèi)的快速接頭連接。關(guān)閉真空箱門后，系統(tǒng)啟動(dòng)真空泵組，對真空箱內(nèi)部抽取真空，達(dá)到一個(gè)高真空狀態(tài)。
充氦檢漏：
抽真空后，系統(tǒng)向工件內(nèi)部充入一定壓力的氦氣，如果工件存在漏孔，在巨大壓差的作用下，氦氣會迅速從漏孔泄漏到真空箱中。
氦質(zhì)譜檢漏儀通過管道與真空箱相連，持續(xù)監(jiān)測真空箱內(nèi)的氣體成分。
結(jié)果輸出與氦氣回收：
系統(tǒng)將檢測到的漏率與預(yù)設(shè)的合格標(biāo)準(zhǔn)閾值進(jìn)行比較，自動(dòng)判定工件“合格”或“不合格”。
檢測完成后，氦氣回收系統(tǒng)回收工件內(nèi)部的氦氣，然后向真空箱內(nèi)充入大氣，打開箱門，取出工件。
氦氣回收系統(tǒng)的主要功能：
為待檢測工件精準(zhǔn)充入氦氣(滿足檢漏所需壓力與濃度)。
通過專用設(shè)備對檢測后的氦氣進(jìn)行回收，減少資源浪費(fèi)。
實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)內(nèi)及工件周邊的氦氣濃度。
當(dāng)氦濃度低于設(shè)定閾值時(shí)，系統(tǒng)自動(dòng)補(bǔ)充氨氣，維持檢測條件。
HOLS和利時(shí)自控在自動(dòng)化生產(chǎn)線中集成氦檢測試系統(tǒng)，工藝包含產(chǎn)品檢漏、本底測試和氦氣回收。氦氣回收系統(tǒng)技術(shù)成熟，對工件充氦氣和氦氣回收，實(shí)時(shí)監(jiān)測氦濃度與氦壓力，且氦氣回收率高，長期運(yùn)行過程中故障率低，保障檢漏流程連續(xù)順暢。系統(tǒng)成熟可靠，氦氣回收率高，可以極大的降低氦氣的使用成本，更大程度實(shí)現(xiàn)降本增效。